岛津 SHIMADZU MSE-2600 便携式通用型氦质谱检漏仪
SHIMADZU MSE-2600 是岛津推出的一款可搬型通用质谱检漏仪，官方定位为从设备维护到设备集成用途均可灵活应用的通用机型。设备同时支持氦气和氢气作为示踪气体，可用于多种高气密性产品及真空系统的定量泄漏检测。 MSE-2600 的氦检测灵敏度达到 ＜8.00×10⁻¹³ Pa·m³/s，氦泄漏率显示范围为 10⁻¹³～10⁰ Pa·m³/s，氢泄漏率显示范围为 10⁻⁹～10⁰ Pa·m³/s，适合从微小泄漏到较大泄漏的检测。 该机采用岛津特色的270°偏转型分析管，配有两根氧化钇涂层铱灯丝，并具备温度补偿自动调谐灵敏度校准功能。岛津 MSE 系列通过该 270°分析管结构提高了背景恢复能力和测量精度。 MSE-2600 的真空系统由分子拖曳泵 + 油旋片真空泵构成，测试口氦排气速度达到 5.2 L/s。岛津表示，MSE-2600 系列通过提高排气速度，可缩短检漏响应时间，提高检测效率。
产品详细
产品特点
高灵敏度检测：氦检测灵敏度达到 ＜8.00×10⁻¹³ Pa·m³/s，适合微小泄漏的定量检测。
氦/氢双气体检测：同时支持氦气和氢气，可根据检测成本、现场条件及工艺要求选择示踪气体。
270°偏转分析管：采用岛津特色的 270°偏转型质谱分析管，有助于提升离子分离及测量精度。
5.2 L/s 氦排气速度：测试口氦排气速度达到 5.2 L/s，有助于缩短响应时间和背景恢复时间。
可搬型通用设计：本体质量约 52 kg，适用于设备维护、现场检测以及设备集成。
自动化接口丰富：支持 RS-232C、RS-485、EXT-UNIT 以及数字 I/O，可与自动检漏设备及生产线连接。
产品用途
真空设备维护：用于真空设备、真空炉、真空配管及相关系统的泄漏检查。
焊接管路及密封件：可采用真空喷吹法检测焊接配管、柔性管、气密封装等产品的泄漏。
半导体及电子部件：适用于半导体制造设备、电子部件及高气密封装产品的检漏。
汽车零部件：可用于汽车空调系统、电池相关部件及其他对气密性要求较高的汽车零件。
热交换器及压缩机：配合嗅探法，可检测无法抽真空的压缩机、热交换器及冷凝器等部件。
生产线自动检漏：通过通信接口和数字 I/O，可集成至自动化检测设备及量产生产线。
| 技术项目 | SHIMADZU MSE-2600 |
|---|---|
| 产品类型 | 可搬式通用氦/氢质谱检漏仪 |
| 品牌 | SHIMADZU / 岛津 |
| 型号 | MSE-2600 |
| 检测气体 | 氦气 / 氢气 |
| 氦检测灵敏度 | ＜8.00×10⁻¹³ Pa·m³/s |
| 氦泄漏率显示范围 | 10⁻¹³～10⁰ Pa·m³/s |
| 氢泄漏率显示范围 | 10⁻⁹～10⁰ Pa·m³/s |
| 分析管 | 270°偏转型 |
| 磁场偏转磁通密度 | 0.17 T |
| 灯丝 | 氧化钇涂层铱灯丝 × 2 |
| 灵敏度校准 | 温度补偿自动调谐 |
| 高真空泵 | 分子拖曳泵 |
| 分子拖曳泵排气结构 | 70 L/s |
| 前级真空泵 | 油旋片真空泵 |
| 前级泵排气速度 | 30 L/min（50 Hz） |
| 真空计 | Pirani 真空计 × 2 系统 |
| 测试口最大压力 | 1,000 Pa |
| 测试口接口 | NW25KF |
| 氦排气速度 | 5.2 L/s |
| 本体质量 | 约52 kg |
| 电源 | AC100/110/120/200/220/230/240 V |
| 电源频率 | 50/60 Hz |
| 电源允许范围 | ±10% |
| 功耗 | 400 VA |
| 通信接口 | RS-232C / RS-485 |
| 外部接口 | EXT-UNIT |
| I/O | 输入4点 / 输出12点，NPN/PNP可选 |
| 主要用途 | 设备维护、真空检漏、产品气密检测、生产线集成 |
