岛津 SHIMADZU MSE-2601 紧凑型通用干式氦质谱检漏仪
SHIMADZU MSE-2601 是岛津推出的一款紧凑型可移动通用质谱检漏仪，内置非接触式结构的干式真空泵，无需依赖油封机械泵，因此特别适合对洁净度要求较高的测试环境及洁净室应用。官方将其定位为从设备维护到设备内置集成均可灵活使用的通用机型。 MSE-2601 支持氦气和氢气两种示踪气体，其中氦检测灵敏度可达到 ＜8.00×10⁻¹³ Pa·m³/s，氦泄漏率显示范围为 10⁻¹³～10⁰ Pa·m³/s，能够满足微小泄漏的定量检测需求。 设备采用岛津特色的270°偏转型分析管，磁场偏转磁通密度为 0.17 T，并配置两根氧化钇涂层铱灯丝。岛津表示，该结构能够提高对非目标离子的分离能力，从而实现高精度泄漏检测。 真空系统由分子拖曳泵和非接触式干式真空泵组成，测试口氦排气速度达到 5.2 L/s，可加快氦背景恢复及检测响应。MSE 系列还提供触摸屏操作及 Start、Stop、Zero 三项基础操作，有利于现场使用和设备维护。
产品详细
产品特点
高灵敏度检漏：氦检测灵敏度达到 ＜8.00×10⁻¹³ Pa·m³/s，适合微小泄漏检测。
氦/氢双气体检测：支持氦和氢两种示踪气体，可根据检测工艺选择。
270°偏转分析管：采用岛津特色 270°偏转型分析管，可提高离子选择和检测精度。
5.2 L/s 氦排气速度：测试口氦排气速度达到 5.2 L/s，有助于缩短检测及背景恢复时间。
内置干式真空泵：采用非接触结构干式真空泵，适用于洁净室等对油污染较敏感的环境。
紧凑可移动设计：本体约 58 kg，可用于现场设备维护，也可集成至检测装置及生产设备。
丰富通信接口：支持 RS-232C、RS-485、EXT-UNIT 以及多点 I/O，便于自动化系统连接。
产品用途
真空设备检漏：可用于真空蒸镀设备、真空炉以及各种真空应用设备的维护检漏。
半导体及电子设备：适用于半导体设备、电子器件、密封电子部件等对气密性要求较高的产品。
汽车零部件：可用于新能源汽车电池壳体、空调系统及其他要求高气密性的汽车零件检漏。
焊接及密封部件：适合焊接配管、柔性管、气密封装等部件的真空喷吹法检测。
热交换器及压缩机：配合可选嗅探单元，可用于无法抽真空的压缩机、热交换器及冷凝器等设备。
生产线及自动化设备：可通过通信及 I/O 接口集成至自动检漏设备和生产线中。
| 技术项目 | SHIMADZU MSE-2601 |
|---|---|
| 产品类型 | 干式氦/氢质谱检漏仪 |
| 品牌 | SHIMADZU / 岛津 |
| 型号 | MSE-2601 |
| 结构形式 | 紧凑型可移动通用机 |
| 检测气体 | 氦气 / 氢气 |
| 氦检测灵敏度 | ＜8.00×10⁻¹³ Pa·m³/s |
| 氦泄漏率显示范围 | 10⁻¹³～10⁰ Pa·m³/s |
| 氢泄漏率显示范围 | 10⁻⁹～10⁰ Pa·m³/s |
| 分析管 | 270°偏转型 |
| 磁场偏转磁通密度 | 0.17 T |
| 灯丝 | 氧化钇涂层铱灯丝 × 2 |
| 灵敏度校准 | 温度补偿自动调谐灵敏度校准 |
| 高真空泵 | 分子拖曳泵，排气结构 70 L/s |
| 前级泵 | 非接触式干式真空泵 |
| 干泵排气速度 | 110 L/min |
| 真空计 | Pirani 真空计 × 2 系统 |
| 测试口最大压力 | 1000 Pa |
| 测试口接口 | NW25KF |
| 氦排气速度 | 5.2 L/s |
| 本体质量 | 约58 kg |
| 电源 | AC100/110/120/200/220/230/240 V，订购时选择 |
| 电源允许范围 | ±10%，50/60 Hz |
| 功耗 | 700 VA |
| 通信接口 | RS-232C / RS-485 |
| 外部接口 | EXT-UNIT |
| I/O | 输入4点 / 输出12点，NPN/PNP可选 |
| 主要应用 | 设备维护、真空检漏、生产线集成、洁净室检测 |
