Fujikin UPG-9.52MS-L30-316LM 高纯气体用 SUS316L 公套管
UPG-9.52MS-L30-316LM 是富士金（Fujikin）FINE series PURE UPG® 高性能超小型垫片接头系列中的公套管（Male Sleeve）。UPG® 系列采用不锈钢本体、套管、螺母及垫片组成，通过紧凑结构和全面密合设计，适合对洁净度、密封性能及安装空间要求较高的精密管路系统。 型号中的“9.52”表示公称尺寸9.52 mm，对应3/8"管路；“MS”表示 Male Sleeve（公套管）；“L30”表示套管全长30 mm；“316LM”表示采用 SUS316L W-Melt 材料。UPG系列资料明确将 MS 定义为公套管，并将316LM定义为 SUS316L W-Melt材料。 该型号的尺寸参数为 D1=9.52 mm、D2=7.52 mm、D3=12.95 mm、L=30 mm、L1=0.7 mm。UPG系列通过密封部与承受外力部位分离、全面密合以及过度紧固防止结构，提高连接稳定性并减少密封部损伤风险。
产品详细
产品特点
高纯管路适用：UPG系列接液、接气部采用 SUS316L W-Melt 材料，并以高洁净精密管路应用为主要设计方向。
SUS316L W-Melt材质：UPG-9.52MS-L30-316LM 套管采用 SUS316L W-Melt 不锈钢，适合高纯气体及精密流体输送环境。
超小型结构：UPG系列相较传统 UJR 接头约缩小至70%，有利于设备内部高密度配管。
低死角设计：系列通过缩小内部死区，适合对残留、置换及洁净度要求较高的气体系统。
稳定密封结构：采用内外平面逐步密合至全面密合的结构，有助于稳定紧固扭矩和密封性能。
防过度紧固：设置密封端部保护及过度紧固防止结构，可降低施工过程中密封部受损的风险。
产品用途
半导体制造设备：适用于半导体生产设备中的高纯工艺气体管路、气柜及气体输送模块。
高纯气体系统：适用于氮气、氦气等与接液、接气部材质相容的高纯气体输送管路。
气体面板：适用于 Gas Panel、Gas Box 等紧凑型高密度配管结构。
精密流体设备：可用于分析仪器、试验装置及精密流体控制设备中的连接部位。
UPG接头系统：作为9.52 mm规格 UPG® 垫片接头中的公套管，与对应螺母、垫片和接头本体组合使用。
| UPG-9.52MS-L30-316LM | |
|---|---|
| 产品类型 | UPG®高性能超小型垫片接头用公套管 |
| 品牌 | Fujikin 富士金 |
| 产品型号 | UPG-9.52MS-L30-316LM |
| 系列 | FINE series PURE UPG® |
| 部件名称 | 公套管 / Male Sleeve |
| 公称尺寸 | 9.52 mm |
| 对应英制尺寸 | 3/8" |
| 材质 | SUS316L W-Melt |
| D1 | 9.52 mm |
| D2 | 7.52 mm |
| D3 | 12.95 mm |
| 全长 L | 30 mm |
| L1 | 0.7 mm |
| UPG系列设计压力 | 超高真空～21.5 MPa |
| UPG系列使用温度范围 | -196℃～+450℃ |
| 9.52 mm规格规定紧固扭矩 | 16.7 N·m |
| 主要用途 | 高纯气体、半导体设备、精密流体管路 |
| 配套系统 | Fujikin UPG® 9.52 mm垫片接头 |
