Fomblin® Y LVAC 25/6 PFPE 全氟聚醚真空泵油

产品特点

极低蒸气压：25℃蒸气压约 6×10⁻⁸ torr，有助于减少真空系统中的油蒸气返流和污染。

优异化学惰性：PFPE 对多数化学介质具有良好稳定性，适合存在腐蚀性和反应性气体的真空环境。

不燃特性：Fomblin® PFPE 无闪点和燃点，适合对燃烧风险控制要求较高的真空系统。

良好热稳定性：在较高温度环境下仍具有较稳定的物理化学性能，可减少氧化、结焦和油泥形成。

材料相容性良好：与多种金属、塑料和弹性体具有较好的兼容性。

产品用途

旋片真空泵：用于泵体内部的密封和润滑，是官方明确推荐的主要用途。

罗茨真空泵：Y LVAC 25/6 也被官方列为 Roots 泵润滑用型号。

半导体真空工艺：适用于 LPCVD、等离子体刻蚀、反应离子刻蚀等对低污染和化学稳定性要求较高的真空系统。

化学真空系统：适合抽送腐蚀性、氧化性或反应性气体的机械真空泵。

高洁净真空设备：适用于希望减少烃类油蒸气污染和返流的真空应用。