NOK Klüber BARRIERTA BFV 402 极低放气高真空氟素润滑脂

产品特点

极低放气：针对高真空环境优化，可显著降低润滑脂挥发及放气对真空环境和晶圆造成的影响。

低发尘：降低基础油飞散和颗粒污染，有利于维持洁净环境。

无金属污染：制造体系不含金属元素，可降低金属杂质对半导体器件性能及加工质量的影响。

耐高温：官方目录给出的使用温度范围约为 -35℃～260℃。

PFPE/PTFE体系：采用氟素基础油与PTFE增稠体系，适合真空、高温和化学稳定性要求较高的设备。

低含水量：NOK官方蓄电池用润滑剂资料显示，BFV 402 的水分含量低至检测限以下，因此也适合低露点及对水分敏感的环境。

产品用途

半导体制造设备：用于高真空、高洁净度要求的半导体生产设备。

真空泵：用于真空泵中需要低挥发润滑的运动和滑动部位。

蚀刻设备：适合 Etching 等高真空制程设备中的润滑部位。

晶圆搬送机器人：用于晶圆搬送机构中的轴承、导轨、丝杆及齿轮。

光学设备：可用于高真空光学设备，降低润滑脂放气造成镜头、传感器等雾化污染的风险。

低露点设备：适用于锂电池制造等低露点、低水分环境中的滑动部润滑。